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申请日期为2023年9月。灯胆管界定弓形地方启齿。以及相关方式。灯包罗位于弓形地方启齿中的灯丝。灯丝沿着弓形轮廓的至多所述分段延长。合用于半导体系体例制的灯包罗沿着弓形轮廓的至多一分段延长的灯胆管。使用材料公司申请一项名为“用于基板处置腔室的灯和窗设置装备摆设”的专利,公开号CN119908162A,